内容简要 本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式：HF相对分子质量：20.01（按2014…
集成电路用氢氟酸标准号为T/ICMTIA PC007-2021，发布日期：2021-05-31、实施日期：2021-07-30，所属团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。
本文网址：https://www.171zz.com/document/194539.html
T/ICMTIA PC007-2021
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 T/ICMTIA PC007-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。