内容简要 本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。…
半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范标准号为T/CEMIA 024-2021，发布日期：2021-07-15、实施日期：2021-12-25，所属团体名称为中国电子材料行业协会。
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T/CEMIA 024-2021
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*本标准 T/CEMIA 024-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。