内容简要 本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产…
半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求标准号为T/CESA 1081-2020，发布日期：2020-06-20、实施日期：2020-06-20，所属团体名称为中国电子工业标准化技术协会。
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T/CESA 1081-2020
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*本标准 T/CESA 1081-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。