内容简要 本文件规定了ArF浸没式光刻胶的要求、试验方法、检测标准及包装、运输、存储。…
集成电路用ArF浸没式光刻胶标准号为T/ICMTIA 5.2-2020，发布日期：2020-12-31、实施日期：2021-03-01，所属团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。
本文网址：https://www.171zz.com/document/215617.html
T/ICMTIA 5.2-2020
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*本标准 T/ICMTIA 5.2-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。