内容简要 本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的方法。本标准适用于…
硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法标准号为T/CNIA 0061-2020，发布日期：2020-05-27、实施日期：2020-08-01，所属团体名称为中国有色金属工业协会。
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T/CNIA 0061-2020
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*本标准 T/CNIA 0061-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。