内容简要 本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)。…
多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法标准号为T/CNIA 0060-2020，发布日期：2020-05-27、实施日期：2020-08-01，所属团体名称为中国有色金属工业协会。
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T/CNIA 0060-2020
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*本标准 T/CNIA 0060-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。