内容简要 本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。本文件适用于少数载流子寿命为20ns～200μs的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。…
碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法标准号为T/CASAS 026-2023，发布日期：2023-06-19、实施日期：2023-06-19，所属团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。
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T/CASAS 026-2023
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*本标准 T/CASAS 026-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。