本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。此标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
离子束蚀刻机通用技术条件标准号为GB/T 15861-1995，发布日期：1995-12-22、实施日期：1996-08-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 15861-1995
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*本标准 GB/T 15861-1995 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。