本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。此标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
半导体设施接口技术文件编写导则标准号为GB/T 15873-1995，发布日期：1995-12-22、实施日期：1996-08-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 15873-1995
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*本标准 GB/T 15873-1995 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。