本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。此标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法标准号为GB/T 14847-1993，发布日期：1993-12-30、实施日期：1994-09-01，所属行业分类。
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GB/T 14847-1993
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*本标准 GB/T 14847-1993 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。