u3000u3000此标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000此标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
电子工业用气体 氨标准号为GB/T 14601-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-05-01，所属行业分类化工技术。
本文网址：https://www.171zz.com/document/243404.html
GB/T 14601-2009
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 GB/T 14601-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。