u3000u3000此标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 u3000u3000此标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
硅抛光片表面质量目测检验方法标准号为GB/T 6624-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 6624-2009
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*本标准 GB/T 6624-2009 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。