本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。此标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，此标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
微束分析 扫描电子显微术 术语标准号为GB/T 23414-2009，发布日期：2009-04-01、实施日期：2009-12-01，所属行业分类综合、术语学、标准化、文献。
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