为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，此标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系的使用不包括在此标准内。
表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法标准号为GB/T 20175-2006，发布日期：2006-03-27、实施日期：2006-11-01，所属行业分类化工技术。
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GB/T 20175-2006
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*本标准 GB/T 20175-2006 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。