本标准规定了X射线光电子能谱(XPS、X-ray Photoelectron Spectroscopy 或ESCA,Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)的一般表面分析方法以及相关的表面化学分析术语的含义,适用于X射线光电子能谱仪。
X-射线光电子能谱分析方法通则标准号为GB/T 19500-2004,发布日期:2004-04-30、实施日期:2004-12-01,所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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