GB/T 18867-2002

下载需要10积分，会员免费下载。

*本标准 GB/T 18867-2002 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。

本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。此标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。