u3000u3000此标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
电子工业用气体 氧标准号为GB/T 14604-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-05-01，所属行业分类化工技术。
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