本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。此标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。此标准的应用受到检漏仪不能测定小于10Pa·m·s漏率漏孔限制。此标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
真空技术 质谱检漏仪校准标准号为GB/T 18193-2000，发布日期：2000-09-26、实施日期：2001-02-01，所属行业分类流体系统和通用件。
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