本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.011013Cm-3~
5001013cm-3。
硅多晶气氛区熔基磷检验方法标准号为GB/T 4059-2018，发布日期：2018-12-28、实施日期：2019-11-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 4059-2018
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*本标准 GB/T 4059-2018 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。