本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
分子式：CHF3
相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）。
电子工业用气体 三氟甲烷标准号为GB/T 34085-2017，发布日期：2017-07-31、实施日期：2017-11-01，所属行业分类化工技术。
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