本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1？cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5？cm的P型硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的测定。
本标准测定碳、氧含量的有效范围从5X1014atoms？cm-3(0.01ppma）到硅中代位碳和间隙氧的最大固溶度。
硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法标准号为GB/T 35306-2017，发布日期：2017-12-29、实施日期：2018-07-01，所属行业分类冶金。
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