当前位置:首页文库内容

GB/T 24581-2009

下载需要10积分,会员免费下载。
*本标准 GB/T 24581-2009 仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。

本标准适用于检测硅单品中的电活性元素硼(B)、磷(P)、砷(As)、铝(Al)、锑(Sb)和镓(Ga)的含量。此标准所适用的硅中每一种电活性元素杂质或掺杂剂浓度范围为(0.01×10~5.0×1O)a。 每种杂质或掺杂剂的浓度可由比耳定律得到,并给出了对每个元素的校准因子。

低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法标准号为GB/T 24581-2009,发布日期:2009-10-30、实施日期:2010-06-01,所属行业分类电气工程。

GB/T 24581-2009

本文网址:https://www.171zz.com/document/245929.html