本标准描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中Ⅲ、V族杂质含量的方法。
本标准适用于硅单晶中的Ⅲ、V族杂质铝（A1）、锑（Sb）、砷（As）、硼（B）、镓（Ga）、铟（In）和磷（P）含量的测定，各元素的测定范围（以原子数计）为1.0×1010cm-3 ~ 4.1×1014cm-3。
硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法标准号为GB/T 24581-2022，发布日期：2022-03-09、实施日期：2022-10-01，所属行业分类冶金。
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