本标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法标准号为GB/T 42263-2022，发布日期：2022-12-30、实施日期：2023-04-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 42263-2022
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*本标准 GB/T 42263-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。