本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 此标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。 u3000u3000
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范标准号为GB/T 32817-2016，发布日期：2016-08-29、实施日期：2017-03-01，所属行业分类电子学。
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