本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。此标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。
电子工业用气体 六氟化钨标准号为GB/T 32386-2015，发布日期：2015-12-31、实施日期：2016-07-01，所属行业分类化工技术。
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