本标准给出了使用连续变波长、变角度的光谱型椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅层厚度的方法。此标准适用于测试硅基底上厚度均匀、各向同性、10nm~1000nm厚的二氧化硅薄层厚度，其他对测试波长处不透光的基底上单层介电薄膜样品厚度测量可以参考此方法。
椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法标准号为GB/T 31225-2014，发布日期：2014-09-30、实施日期：2015-04-15，所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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