硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法标准号为YS/T 839-2012，发布日期：2012-11-07、实施日期：2013-03-01，所属行业分类。
本文网址：https://www.171zz.com/document/164087.html
YS/T 839-2012
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*本标准 YS/T 839-2012 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法标准号为YS/T 839-2012，发布日期：2012-11-07、实施日期：2013-03-01，所属行业分类。
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