本标准规定了进行电子探针分析时的入射电子束、波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则，并规定了束流、束流密度、死时间、波长分辨率、背底、分析面积、分析深度和分析体积的测定过程。 此标准适用于垂直入射电子束对抛光试样的分析，对于其他实验条件，这些实验参数只能作为参考。 此标准不适用于能谱法。
微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则标准号为GB/T 30705-2014，发布日期：2014-03-27、实施日期：2014-12-01，所属行业分类化工技术。
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