本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。
离子注入机通用规范标准号为GB/T 15862-2012，发布日期：2012-11-05、实施日期：2013-02-15，所属行业分类。
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GB/T 15862-2012
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*本标准 GB/T 15862-2012 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。