本标准描述了硅中代位碳原子含量的红外吸收测试方法。
本标准适用于电阻率大于3Ω·cm的P型硅单晶片及电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶片中代位碳原子含量的测试(室温下测试范围:5X1015cm-3至硅中碳原子的最大固溶度;温度低于80K时测试范围:不小于5X1014cm-3)。
硅中代位碳含量的红外吸收测试方法标准号为GB/T 1558-2023,发布日期:2023-12-28、实施日期:2024-07-01,所属行业分类冶金。
本文网址:https://www.171zz.com/document/285170.html