本标准描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准标准号为GB/T 42659-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类化工技术。
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GB/T 42659-2023
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*本标准 GB/T 42659-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。