本标准规定了相移干涉法（PS）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性标准号为GB/T 33523.603-2022，发布日期：2022-12-30、实施日期：2023-04-01，所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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GB/T 33523.603-2022
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*本标准 GB/T 33523.603-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
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