本标准规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。
产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性标准号为GB/T 33523.604-2022,发布日期:2022-12-30、实施日期:2023-04-01,所属行业分类计量学和测量、物理现象。
本文网址:https://www.171zz.com/document/287724.html
本标准规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。
产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性标准号为GB/T 33523.604-2022,发布日期:2022-12-30、实施日期:2023-04-01,所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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