本标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化稼单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氮化榢外延片晶面曲率半径的测试可参照此标准进行。
氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法标准号为GB/T 41751-2022，发布日期：2022-10-12、实施日期：2023-02-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 41751-2022
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*本标准 GB/T 41751-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。