本标准规定了集成电路（IC）制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。
本标准适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。
集成电路制造设备术语标准号为GB/T 40577-2021，发布日期：2021-10-11、实施日期：2022-05-01，所属行业分类电子学。
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