本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。
本标准适用于｛111}、｛100｝和｛013｝面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0cm-2~100000cm-2。
锗单晶位错密度的测试方法标准号为GB/T 5252-2020，发布日期：2020-06-02、实施日期：2021-04-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 5252-2020
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*本标准 GB/T 5252-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。