本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
光掩模对准标记规范标准号为GB/T 16524-1996，发布日期：1996-09-09、实施日期：1997-05-01，所属行业分类电子学。
本文网址：https://www.171zz.com/document/230657.html
GB/T 16524-1996
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*本标准 GB/T 16524-1996 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
光掩模对准标记规范标准号为GB/T 16524-1996，发布日期：1996-09-09、实施日期：1997-05-01，所属行业分类电子学。
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