本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
光掩模石英玻璃基板标准号为GB/T 34178-2017，发布日期：2017-09-07、实施日期：2018-08-01，所属行业分类玻璃和陶瓷工业。
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GB/T 34178-2017
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*本标准 GB/T 34178-2017 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。