u3000u3000此标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。 u3000u3000此标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层（N/N＋）和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。
硅外延片标准号为GB/T 14139-2009，发布日期：2009-10-30、实施日期：2010-06-01，所属行业分类电气工程。
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