本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，此标准不适用于近表面区域的δ层。
表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法标准号为GB/T 22572-2008，发布日期：2008-12-11、实施日期：2009-10-01，所属行业分类化工技术。
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GB/T 22572-2008
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*本标准 GB/T 22572-2008 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。