本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。此标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。
硅单晶抛光片标准号为GB/T 12964-2003，发布日期：2003-06-16、实施日期：2004-01-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 12964-2003
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*本标准 GB/T 12964-2003 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。