本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
本标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法标准号为GB/T 34899-2017，发布日期：2017-11-01、实施日期：2018-05-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 34899-2017
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*本标准 GB/T 34899-2017 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。