本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。
本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法标准号为GB/T 38341-2019，发布日期：2019-12-31、实施日期：2020-04-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 38341-2019
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*本标准 GB/T 38341-2019 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。