本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。
本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法标准号为GB/T 38447-2020，发布日期：2020-03-06、实施日期：2020-07-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 38447-2020
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*本标准 GB/T 38447-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。