本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法标准号为GB/T 38446-2020，发布日期：2020-03-06、实施日期：2020-10-01，所属行业分类电子学。
本文网址：https://www.171zz.com/document/294778.html
GB/T 38446-2020
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 GB/T 38446-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。