本标准界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
微机电系统（MEMS）技术 术语标准号为GB/T 26111-2023，发布日期：2023-05-23、实施日期：2023-09-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 26111-2023
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*本标准 GB/T 26111-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。