本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。此标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则标准号为GB/T 26113-2010，发布日期：2011-01-10、实施日期：2011-10-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 26113-2010
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*本标准 GB/T 26113-2010 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。