本标准描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。
本标准适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法标准号为GB/T 42896-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2023-12-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 42896-2023
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*本标准 GB/T 42896-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。