本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。此标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。
微机电系统（MEMS）技术 术语标准号为GB/T 26111-2010，发布日期：2011-01-10、实施日期：2011-10-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 26111-2010
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*本标准 GB/T 26111-2010 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。